机译:硅微加工的新技术:用于实现低掺杂单晶硅结构的掺杂剂选择性HF阳极蚀刻
机译:硅微加工的一项新技术:用于实现低掺杂单晶硅结构的掺杂剂选择性HF阳极蚀刻
机译:通过在生物应用的HF:C_2H_5OH:HCl:H_2O_2:H_2O电解质中对n〜+型硅表面进行阳极刻蚀而形成的疏水氧化多孔硅层的表征
机译:最高蚀刻速率的硅中高纵横比结构的受控微细加工:H2O2在酸性电解质中硅阳极溶解中的作用
机译:硅的掺杂剂选择性HF阳极蚀刻-用于实现低掺杂的单晶硅微结构
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:通过摩擦诱导的Si3N4掩模选择性刻蚀在单晶硅上进行纳米加工
机译:一种用于硅微加工的新技术:掺杂剂选择性HF阳极蚀刻,用于实现低掺杂单晶硅结构